特許
J-GLOBAL ID：201103017787708521
ビーム測定機、画像露光装置及び画像露光装置の管理システム
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-171721
公開番号（公開出願番号）：特開2001-350208
特許番号：特許第3758472号
出願日： 2000年06月08日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】光露光により画像を形成する画像露光装置用のビーム測定機において、良質な画像が得られる状態にある露光ビームの光量に加えて、径・位置・プロファイルの少なくとも1つについての測定結果を予め保存しておくと共に、その後に測定した測定結果を前記保存しておいた測定結果と比較することで、露光ビームの良否を判定することを特徴とするビーム測定機。
IPC (6件)：
G03B 27/32 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
, G03B 27/46 ( 200 6.01)
, G03B 27/73 ( 200 6.01)
, B41J 2/44 ( 200 6.01)
, H04N 1/113 ( 200 6.01)
G03B 27/32 Z
, G01B 11/00 Z
, G03B 27/46 Z
, G03B 27/73
, B41J 3/00 D
, H04N 1/04 104 Z
