特許
J-GLOBAL ID：201103018909695937

ガスセンサの製造法

発明者：
三輪 祐子

三輪 祐子 について

, 
山本 道郎

山本 道郎 について

, 
堀 貴晴

堀 貴晴 について

, 
柴田 力

柴田 力 について


出願人/特許権者：
リコーエレメックス株式会社

リコーエレメックス株式会社 について


代理人 (1件)： 中尾 俊介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-351011
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165888
特許番号：特許第4208167号
出願日： 1999年12月10日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】揮発性溶剤を加熱して蒸気を発生し、その蒸気により、酸化亜鉛を用いたガス感応体の表面にエッチング処理して凹凸の高さが40〜100nmの微細な凹凸を形成してなることを特徴とする、ガスセンサの製造法。
IPC (1件)：
G01N 27/12 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01N 27/12 M ,  G01N 27/12 B
引用特許：
出願人引用 (16件)
全件表示
審査官引用 (16件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM