特許
J-GLOBAL ID：201103019062131175

X線透過検査装置及びX線透過検査方法

発明者：
的場 吉毅

的場 吉毅 について


出願人/特許権者：
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 杉浦 秀幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-141467
公開番号（公開出願番号）：特開2010-286406
出願日： 2009年06月12日
公開日（公表日）： 2010年12月24日
要約：
【課題】 異物起因のコントラストのみを明確に判別して過検出及び誤検出を防ぐこと。【解決手段】 測定対象元素のX線吸収端より低いエネルギーの第1の特性X線を試料Sに照射する第1のX線管球11と、元素のX線吸収端より高いエネルギーの第2の特性X線を試料に照射する第2のX線管球12と、第1の特性X線及び第2の特性X線が試料を透過した際の第1の透過X線及び第2の透過X線を検出する第1のX線検出器13及び第2のX線検出器14と、第1の透過X線の第1の透過像と第2の透過X線の第2の透過像との差分からコントラスト像を得る演算部15と、を備え、試料と第1のX線管球との間に第1の特性X線よりも高いエネルギーのX線吸収端を有する元素の第1のフィルタF1を配すると共に、試料と第2のX線管球との間に第2の特性X線よりも高いエネルギーのX線吸収端を有する元素の第2のフィルタF2を配する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
測定対象の元素のX線吸収端より低いエネルギーの第1の特性X線を試料に照射する第1のX線管球と、 前記元素のX線吸収端より高いエネルギーの第2の特性X線を前記試料に照射する第2のX線管球と、 前記第1の特性X線が前記試料を透過した際の第1の透過X線を受けてその強度を検出する第1のX線検出器と、 前記第2の特性X線が前記試料を透過した際の第2の透過X線を受けてその強度を検出する第2のX線検出器と、 検出された前記第1の透過X線の強度の分布を示す第1の透過像と検出された前記第2の透過X線の強度の分布を示す第2の透過像とを作成し、前記第1の透過像と前記第2の透過像との差分からコントラスト像を得る演算部と、を備え、 前記試料と前記第1のX線管球との間に前記第1の特性X線よりも高いエネルギーのX線吸収端を有する元素で形成された第1のフィルタが配されていると共に、前記試料と前記第2のX線管球源との間に前記第2の特性X線よりも高いエネルギーのX線吸収端を有する元素で形成された第2のフィルタが配されていることを特徴とするX線透過検査装置。
IPC (1件)：
G01N 23/04
FI (1件)：
G01N23/04
Fターム (33件)：
2G001AA01 ,  2G001AA10 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001CA10 ,  2G001DA08 ,  2G001DA09 ,  2G001EA06 ,  2G001EA08 ,  2G001GA06 ,  2G001JA13 ,  2G001KA05 ,  2G001KA11 ,  2G001LA11 ,  2G001MA04 ,  2G001MA05 ,  2G001NA10 ,  2G001NA17 ,  2G001PA11 ,  5H028BB11 ,  5H028BB17 ,  5H028HH00 ,  5H029AJ12 ,  5H029AK03 ,  5H029AL06 ,  5H029CJ30 ,  5H029HJ00 ,  5H050AA15 ,  5H050BA17 ,  5H050CA08 ,  5H050CB07 ,  5H050GA28 ,  5H050HA00
引用特許：
審査官引用 (15件)
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