特許
J-GLOBAL ID：201103020509750348
光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
井上 一
, 竹腰 昇
, 黒田 泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-058301
公開番号（公開出願番号）：特開2011-191554
出願日： 2010年03月15日
公開日（公表日）： 2011年09月29日
要約：
【課題】 可動基板として撓み易さを確保してギャップ精度を確保しながら、ノイズに対する感度が小さく、帰還制御を必ずしも要しない光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器を提供すること。【解決手段】 光フィルター10は、第1基板20と、第2基板30と、第1基板の第1対向面20Aに設けられた第1反射膜40と、第2基板の第2対向面30Aに設けられた第2反射膜50と、平面視で第1反射膜の周囲の位置にて第1基板に設けられた第1電極60と、第2基板に設けられて第1電極と対向する第2電極70とを有する。第1対向面及び第2対向面の少なくとも一方に段差部が形成され、第1反射膜と第2反射膜との間の初期ギャップG1を、第1電極と第2電極との間の初期ギャップG2よりも小さくした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1基板と、
前記第1基板と対向する第2基板と、
前記第1基板が前記第2基板と対向する第1対向面に設けられた第1反射膜と、
前記第2基板が前記第1基板と対向する第2対向面に設けられ、前記第1反射膜と対向する第2反射膜と、
平面視で前記第1反射膜の周囲の位置にて前記第1基板の前記第1対向面に設けられた第1電極と、
前記第2基板の前記第2対向面に設けられ、前記第1電極と対向する第2電極と、
を含み、
前記第1対向面及び前記第2対向面の少なくとも一方に段差部が形成され、前記第1反射膜と前記第2反射膜との間の初期ギャップを、前記第1電極と前記第2電極との間の初期ギャップよりも小さくしたことを特徴とする光フィルター。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (19件)：
2G020AA08
, 2G020BA20
, 2G020CA12
, 2G020CD03
, 2G020DA12
, 2H141MA22
, 2H141MB14
, 2H141MB28
, 2H141MC06
, 2H141MD02
, 2H141MD04
, 2H141MD38
, 2H141MF05
, 2H141MF17
, 2H141MG01
, 2H141MG10
, 2H141MZ03
, 2H141MZ22
, 2H141MZ28
