特許
J-GLOBAL ID：201103021063217701
ネガ型感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩見谷 周志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-367575
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183832
特許番号：特許第4161497号
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】(A)ヒドロキシスチレン単位の含有率が65〜90モル%であるヒドロキシスチレン/スチレン共重合体およびヒドロキシスチレン単位の含有率が65〜90モル%であるヒドロキシスチレン/α-メチルスチレン共重合体から選ばれる少なくとも1種の共重合体を含有するアルカリ可溶性樹脂、
(B)ジフェニル-4-ヒドロキシフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホネート、ビス(4-フルオロフェニル)-4-ヒドロキシフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホネートおよびジフェニル-4-ヒドロキシフェニルスルホニウムトルエンスルホネートからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物からなる感放射線性酸発生剤、並びに
(C)N-(アルコキシメチル)グリコールウリル化合物を含有する架橋剤
を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/038 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G03F 7/038 601
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 A
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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