特許
J-GLOBAL ID：201103022189915648
炭素原子クラスターイオン生成装置及び炭素原子クラスターイオンの生成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073589
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268741
特許番号：特許第3525135号
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 炭素原子クラスターイオン生成装置において、(a)電気的に絶縁された加熱装置と、(b)該加熱装置によって真空雰囲気で加熱されるカーボンナノチューブと、(c)引出電極とを備え、(d)前記カーボンナノチューブに所望の正の加速電圧を印加し、前記引出電極に負の電圧を印加し、炭素原子がクラスターの状態で電界蒸発して、該電界蒸発した炭素原子クラスターは、イオン化され、イオンビームとして真空中に放出されるように構成したことを特徴とする炭素原子クラスターイオン生成装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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