特許

J-GLOBAL ID：201103022914305001

光学システム、検査システムおよび製造方法

発明者： リジコフ,レヴ ,  ヴラディミルスキー,ユリ ,  ウォルシュ,ジェームズ エイチ.
出願人/特許権者： エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ.
代理人 (2件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-103542
公開番号（公開出願番号）：特開2011-242768
出願日： 2011年05月06日
公開日（公表日）： 2011年12月01日
要約：

【課題】広角光学システムを用いて検査用システムおよび方法が提供される。【解決手段】光学システムは広角入力レンズ群および出力レンズ群を含む。広角入力レンズ群は、物体面から例えば60度以上の角度広がりを有する広角放射を受けかつ像を形成可能な放射を生成するように構成される。広角入力レンズ群は、広角入力レンズ群内またはその後に中間合焦像が形成されないように構成される。出力レンズ群は、広角入力レンズ群から像を形成可能な放射を受けかつ像を形成可能な放射を像面上に合焦させて物体面の少なくとも一部の像を形成するように構成される。ディテクタは、物体面の少なくとも一部の像を受け、受けた像に基づいて、例えば物体面上の汚染を検出する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

広角入力レンズ群であって、前記広角入力レンズ群内またはその後に中間合焦像が形成されないように物体面から放射を受けかつそこから像を形成可能な放射を生成するように構成された広角入力レンズ群と、 前記広角入力レンズ群から前記像を形成可能な放射を受けかつ前記像を形成可能な放射を像面上に合焦させて前記物体面の少なくとも一部の像を形成するように構成された出力レンズ群と を含む、光学システム。

IPC (1件)：

G02B 13/00

FI (1件)：

G02B13/00

Fターム (18件)：

2H087KA21 ,  2H087PA04 ,  2H087PA19 ,  2H087PB06 ,  2H087QA01 ,  2H087QA05 ,  2H087QA11 ,  2H087QA16 ,  2H087QA21 ,  2H087QA22 ,  2H087QA25 ,  2H087QA26 ,  2H087QA31 ,  2H087QA36 ,  2H087QA41 ,  2H087QA42 ,  2H087QA45 ,  2H087QA46

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 広角レンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-121634   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 投影光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-185656   出願人：株式会社ニコンエンジニアリング, 株式会社ニコン
• 欠陥検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-367896   出願人：オリンパス株式会社
• 広角レンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-036100   出願人：旭光学工業株式会社
• 検査方法およびそれを使用する装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-113702   出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
• 欠陥検査方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-157274   出願人：株式会社ルネサステクノロジ