特許
J-GLOBAL ID：201103024350088083
平面パネルディスプレイ装置の製造方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
木村 政彦
, 立川 幸男
, 高尾 智満
, 大島 陽一
, 西山 恵三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-562923
特許番号：特許第4577989号
出願日： 1999年05月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 サブピクセル領域を分離するマトリックス構造体を備えるフェースプレートと、エミッタから放出された電子をフォーカスするフォーカス構造体を備えるバックプレートと、前記マトリックス構造体と前記フォーカス構造体との間に設けられたサポート構造体と、を備える平面パネルディスプレイ装置の製造方法であって、
前記マトリックス構造体にドライクリーニング処理を施す工程と、
前記フォーカス構造体にドライクリーニング処理を施す工程と、
前記サポート構造体にドライクリーニング処理を施す工程と、
前記マトリックス構造体の上に前記サポート構造体を配置する工程と、
を含んでおり、
前記マトリックス構造体に施すドライクリーニング処理が、紫外線放射環境下において前記マトリックス構造体をオゾンに曝す処理であり、
前記フォーカス構造体と前記サポート構造体に施すドライクリーニング処理が、前記フォーカス構造体と前記サポート構造体への酸素プラズマ処理であり、
前記サポート構造体に前記ドライクリーニング処理を施した後に、前記マトリックス構造体の上に前記サポート構造体を配置する工程が行われる、
ことを特徴とする平面パネルディスプレイ装置の製造方法。
IPC (4件)：
H01J 9/38 ( 200 6.01)
, H01J 9/14 ( 200 6.01)
, H01J 9/227 ( 200 6.01)
, H01J 9/24 ( 200 6.01)
H01J 9/38 A
, H01J 9/14 A
, H01J 9/227 D
, H01J 9/24 A
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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