特許
J-GLOBAL ID：201103025262125900

加工装置

発明者：
田中 万平

田中 万平 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-167157
公開番号（公開出願番号）：特開2011-020215
出願日： 2009年07月15日
公開日（公表日）： 2011年02月03日
要約：
【課題】板状被加工物に変形が生成されている場合には、変形を自動的に強制して吸引保持させることができる加工装置を提供する。【解決手段】搬送機構12は搬送プレート32と、搬送プレート32の下面に配設され、板状被加工物2を吸引保持する吸引保持板34、及び吸引保持板34を囲繞し且つ吸引保持板34の下面を越えて突出する弾性囲繞部材36と含む。吸引保持された板状被加工物2が支持機構10の吸引支持板26上に位置されると、搬送機構12の弾性囲繞部材36の下端が支持テーブル24の上面に接触されて、密閉空間Rが形成され、板状被加工物2の裏面と吸引保持板34の表面との間に間隙が生成されている場合には、吸引されることによって密閉空間Rに負圧が生成され、これによって大気圧により搬送プレート32が下降し弾性囲繞部材36が収縮され、板状被加工物2が吸引支持板26上に押圧され、板状被加工物2の変形が矯正される。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
支持テーブルと該支持テーブル上に配設され板状被加工物を吸引支持する吸引支持板とを含み、該支持テーブルは該吸引支持板の外縁を越えて延出している支持機構及び該吸引支持板上に板状被加工物を搬入する搬送機構とを具備する加工装置において、 該搬送機構は鉛直方向に昇降動及び水平方向に往復動される搬送プレートと、該搬送プレートの下面に配設され板状被加工物の上面全体に当接して板状被加工物を吸引保持する吸引保持板と、該搬送プレートの下面に配設されて該吸引保持板を囲繞し且つ該吸引保持板の下面を越えて突出する弾性囲繞部材とを含み、 該搬送機構の該吸引保持板に吸引保持された板状被加工物が該支持機構の該吸引支持板上に位置されると、該搬送機構の該弾性囲繞部材の下端が該支持テーブルの上面に接触されて、該支持テーブル、該弾性囲繞部材、及び該搬送プレートによって密閉空間が形成され、板状被加工物の変形に起因して板状被加工物の裏面と該吸引保持板の表面との間に間隙が生成されている場合には、該吸引支持板を通して吸引されることによって該密閉空間に負圧が生成され、これによって該搬送プレート及び該吸引保持板が下方に変位されて、該弾性囲繞部材が収縮され、板状被加工物が該吸引支持板上に押圧されて、板状被加工物の変形が矯正されて該吸引支持板上に吸引保持される、ことを特徴とする加工装置。
IPC (4件)：
B24B 41/06 ,  B24B 27/06 ,  H01L 21/683 ,  B23Q 3/08
FI (4件)：
B24B41/06 A ,  B24B27/06 M ,  H01L21/68 P ,  B23Q3/08 A
Fターム (39件)：
3C016DA00 ,  3C034AA19 ,  3C034BB73 ,  3C034BB83 ,  3C034DD15 ,  3C058AA03 ,  3C058AA18 ,  3C058AB03 ,  3C058AB04 ,  3C058CA07 ,  3C058CB03 ,  3C058CB06 ,  4E068AE00 ,  4E068CA14 ,  4E068CE09 ,  4E068CJ09 ,  4E068DA10 ,  5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA22 ,  5F031GA42 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031HA03 ,  5F031HA05 ,  5F031HA14 ,  5F031HA57 ,  5F031HA60 ,  5F031KA06 ,  5F031KA10 ,  5F031LA07 ,  5F031LA12 ,  5F031MA34 ,  5F031PA14
引用特許：
出願人引用 (6件)
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