特許
J-GLOBAL ID：201103027324679633
基板の位置決め方法と装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-203499
公開番号（公開出願番号）：特開2003-017545
特許番号：特許第4117762号
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ロードロック室内に配置された基板を水平面上の直交する2つのX、Y軸方向に移動でき、かつそれらに垂直なZ軸まわりに回転できる支持手段により下方から支持し、カメラにより撮像した基板の画像の角から前記基板の位置と傾きを認識し、基板の所定位置と認識した基板位置とにずれや傾きがあるとき支持手段のX、Y軸方向の移動とZ軸まわりの回転との少なくとも1つによって基板を所定位置に位置決めする基板の位置決め方法であって、
前記撮像した基板の画像から、基板の角部をなす基板の2辺に対応して、直交するX軸およびY軸に平行に予め設定した2本ずつの検査ライン上で検出される1辺上の2点どうし、他の1辺上の2点どうし、のそれぞれを結ぶ線分の延長線どうしが交差する交点を基板の角と認識し、前記画像認識およびそれに基づく位置決めを行い、基板の角が欠けた部分に前記検出ライン上で検出される4つの点の少なくとも1つが掛かっているときの画像認識に基づく位置決め時、基板の位置と傾きとにつき、検出位置をずらして再度画像認識し、位置のずれや傾きがあると位置決め動作を行うことを特徴とする基板の位置決め方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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