セラミック多層基板の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-307083
公開番号（公開出願番号）：特開2000-315864
特許番号：特許第3656484号
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】有機バインダおよび可塑剤を含むガラス・セラミックからなるガラス・セラミックグリーンシートを複数枚積層してキャビティを有する積層体を形成し、該積層体を焼成する、キャビティ付きセラミック多層基板の製造方法において、開口部を有した複数のガラス・セラミックグリーンシートと当該ガラス・セラミックグリーンシートより焼成温度が高い複数の無機組成物層とが交互に配置されていて、前記キャビティの内側に無機組成物層が露出している積層体を形成し、当該積層体を前記ガラス・セラミックグリーンシートの焼成条件で焼成する、ことを特徴とする、キャビティ付きセラミック多層基板の製造方法。

IPC (3件)：