回折格子の加工方法及び加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：日比谷征彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-271406
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091718
特許番号：特許第3652182号
出願日： 1999年09月24日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】凹のブレーズド形状を有し格子ピッチが径方向に徐々に微細になる回折格子又は回折格子の型を、チップを有するバイトを用いた切削により加工する回折格子の加工方法であって、前記バイトをスピンドルに取り付けて回転し、前記回折格子の溝の頂点部に常に前記チップの未使用の接点が当接するように、前記回折格子を前記格子ピッチが微細な部分から粗い部分に向けて加工することを特徴とする回折格子の加工方法。

IPC (4件)：