特許
J-GLOBAL ID：201103029652082825
圧力センサ
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
奥田 弘之 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038451
特許番号：特許第3035286号
出願日： 1999年02月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 センサ部と、光源と、光源からの波長λの光を上記センサ部に伝送すると共に、センサ部からの反射光を伝送する光ファイバと、センサ部からの反射光を受光し、反射光の強度に比例した電気信号を出力する受光部と、該受光部で出力された電気信号を圧力値に変換する処理部とを備えた圧力センサであって、上記センサ部は、圧力に比例して弾性変形するダイアフラム及び該ダイアフラム裏面に形成された反射面とを有するセンサ基板と、該センサ基板の裏面に接合され、その表面が上記センサ基板の反射面と所定の間隙を隔てて平行配置される透光性材料より成る台座とを有すると共に、上記センサ基板と上記台座との間には空気の封入された空間が形成され、また、上記光ファイバは、その一端面が、上記台座を間に介して、上記反射面と対向配置されており、上記ダイアフラムに圧力が印加された際のダイアフラムの変形量がλ/4(λは光源からの光の波長)以下の範囲内において、上記光ファイバの一端面から上記台座内へ入射する光源からの光の内、台座の上端面で反射される第1の反射光と、台座の上端面から上記空間内に入射し、上記センサ基板の反射面で反射される第2の反射光とが干渉し合った干渉反射光の光強度が、上記ダイアフラムの変形量と1対1の比例関係となることを用い、上記ダイアフラムの変形量が0の場合の干渉反射光の光強度を適宜設定して、干渉反射光の光強度が最小乃至最大に至るダイアフラムの変形量λ/4の範囲内で、上記ダイアフラムが変形した場合における正圧又は/及び負圧を測定することを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L 9/00 B
, G02B 6/00 B
審査官引用 (7件)
-
圧力センサー及びその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-012350
出願人：三菱マテリアル株式会社, 三菱電線工業株式会社
-
半導体圧力センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-062159
出願人：三菱電機株式会社
-
圧力・温度センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-192058
出願人：三菱電線工業株式会社
全件表示
前のページに戻る
