特許
J-GLOBAL ID：201103031088360393

ガス雰囲気形成装置及びガス雰囲気形成方法

発明者：
篠田 設治

篠田 設治 について

, 
中澤 敏治

中澤 敏治 について

, 
野路 伸治

野路 伸治 について

, 
相吉澤 俊一

相吉澤 俊一 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (3件)： 太田 正人 ,  熊谷 隆 ,  高木 裕
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-000917
公開番号（公開出願番号）：特開2001-193900
特許番号：特許第4246343号
出願日： 2000年01月06日
公開日（公表日）： 2001年07月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ガスを導入するためのガス導入口と該ガスを排出するためのガス排出口とを備えたケーシングと、 前記ガス導入口に設けた導入口側切替バルブと前記ガス排出口側に設けた排出口側切替バルブと、 前記導入口側切替バルブと前記排出口側切替バルブを介して前記ケーシングに接続され、ガスを循環させるガス循環管路と、 前記ケーシング内のガスを前記ガス循環管路を通して循環させるための循環ファンと、 前記ガス循環管路に設けられ、該ガス循環管路を通るガス中の水分等を冷却凝縮して当該ガスから除去するためのトラップと、 前記導入口側切替バルブを通して前記ケーシングに不活性ガスを導入し、該不活性ガスを前記排出口側切替バルブを通して前記ガス循環管路外に排出し、前記ケーシング内に前記不活性ガスが充満し、該ケーシング内の酸素、水分が除去されたら、前記導入口側切替バルブ及び前記排出口側切替バルブを前記ガス循環管路側に切り替えるバルブ切替制御手段と、 前記ガス循環管路に設けられ、前記トラップに流入するガスを該トラップから流出するガスで冷却する熱交換器と、を備えたことを特徴とするガス雰囲気形成装置。
IPC (2件)：
F17D 1/02 ( 200 6.01) ,  F24F 7/06 ( 200 6.01)
FI (2件)：
F17D 1/02 ,  F24F 7/06 C
引用特許：
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM