高密度半導体用接着剤

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：生田哲郎 , 名越秀夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-008421
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299326
特許番号：特許第4386521号
出願日： 2000年01月18日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】表面に水酸基を有する平均粒径が2〜8μmの球状細粒シリカであって、3740cm-1の吸収を測定して算出した表面水酸基量が該シリカに対して0.01〜1.0mmol/gである球状細粒シリカ、及び平均粒径が2〜80nmの超微粒シリカを含有する半導体用接着剤。

IPC (3件)：