角速度検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大庭咲夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160135
公開番号（公開出願番号）：特開2000-193460
特許番号：特許第3489487号
出願日： 1999年06月07日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板に駆動用梁を介して接続され同基板に対してX軸方向に振動可能に支持されたフレームと、前記フレームにその内側にて検出用梁を介して接続され前記基板に対してX軸方向及び同X軸と直交するY軸方向に振動可能に支持された振動子と、前記フレームを前記基板に対してX軸方向に振動させるための駆動部と、前記振動子の前記基板に対するY軸方向の振動を検出するための検出部とを備え、前記フレーム及び振動子をX軸方向に振動させた状態でX軸及びY軸に直交したZ軸回りに作用する角速度を同振動子のY軸方向の振動に基づいて検出する角速度検出装置において、前記フレームをY軸方向に複数に分割したことを特徴とする角速度検出装置。

IPC (2件)：