基板搬送ロボット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：保立浩一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-340057
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156150
特許番号：特許第4359369号
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板を保持可能な上側フォークを先端に取り付けた左右一対の上側第一アームと、一方の前記上側第一アームの後端に設けられた上側右関節部と、他方の前記上側第一アームの後端に軸受を介して取り付けられた上側左関節部と、前記上側右関節部及び前記上側左関節部にそれぞれ軸受を介して先端が連結された左右一対の上側第二アームと、一方の前記上側第二アームの後端と一体に回転するように直結されるとともに、他方の前記上側第二アームの後端を回転可能に支持する上側用駆動軸と、前記基板を保持可能で且つ前記上側フォークよりも下方側に配設された下側フォークを先端に取り付けた左右一対の下側第一アームと、一方の前記下側第一アームの後端に設けられた下側左関節部と、他方の前記下側第一アームの後端に軸受を介して取り付けられた下側右関節部と、前記下側左関節部及び前記下側右関節部にそれぞれ軸受を介して先端が連結された左右一対の下側第二アームと、一方の前記下側第二アームの後端と一体に回転するように直結されるとともに、他方の前記下側第二アームの後端を回転可能に支持する下側用駆動軸と、前記上側用駆動軸及び前記下側用駆動軸に対して同軸に設けられた制動軸と、前記上側右関節部と前記制動軸との間で回転力を伝達する第二固定力伝達具と、前記下側左関節部と前記制動軸との間で回転力を伝達する第一固定力伝達具と、前記制動軸を回転させる回転用駆動軸と、前記上側用駆動軸、前記下側用駆動軸及び前記回転用駆動軸を支持した状態で上下動可能な支持体とを備え、前記前記回転用駆動軸及び前記下側用駆動軸の回転を規制した状態で、前記上側用駆動軸を回転させると前記上側フォークが前後運動し、前記前記回転用駆動軸及び前記上側用駆動軸の回転を規制した状態で、前記下側用駆動軸を回転させると前記下側フォークが前後運動し、前記回転用駆動軸により前記制動軸を回転させ、この回転に伴って前記上側用駆動軸及び前記下側用駆動軸が回転すると、前記上側フォーク及び前記下側フォークが前記回転用駆動軸を中心に回転運動することが可能に構成されていることを特徴とする基板搬送ロボット。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) , B25J 9/06 ( 200 6.01) , B65G 49/07 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/68 A , B25J 9/06 E , B65G 49/07 D

引用特許：

出願人引用 (5件)

搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-331468 出願人：株式会社日立製作所
多関節ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-107900 出願人：株式会社三協精機製作所
工業用ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-080063 出願人：トキコ株式会社

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審査官引用 (5件)

搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-331468 出願人：株式会社日立製作所
多関節ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-107900 出願人：株式会社三協精機製作所
工業用ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-080063 出願人：トキコ株式会社

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