特許
J-GLOBAL ID：201103031859261449

ラビング装置並びに液晶装置の製造方法及び液晶装置

発明者：
山田 健一

山田 健一 について

, 
矢崎 正幸

矢崎 正幸 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338159
公開番号（公開出願番号）：特開2001-154198
特許番号：特許第3835087号
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 一方の面に配向膜が形成された基板が、配向膜を上にして載置される載置台と、 前記基板に接し、前記基板の一端部から他端部に向かって移動することにより前記配向膜をラビング処理するラビングローラーと、 前記基板が前記載置台に搬送され載置された後に、前記基板の一端部における前記ラビングローラーの回転トルクを検出するトルク検出機構と、 前記検出結果に基づき、前記回転トルクが所定の範囲となるように、前記ラビングローラーまたは前記載置台を移動させる移動機構と、 前記載置台を前記載置台の平面内で所定角度回転させて前記基板に対するラビング方向を設定することにより、前記回転トルクの前記検出の後に前記所定角度回転を行う回転機構と、 前記移動機構及び前記回転機構を動作させる制御手段と、 を具備するラビング装置であって、 前記制御手段は、前記トルク検出機構による検出結果に基づいて前記移動機構により前記載置台を移動させた後に、前記回転機構を回転させることを特徴とするラビング装置。
IPC (1件)：
G02F 1/1337 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G02F 1/133 500
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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