冷陰極の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154523
公開番号（公開出願番号）：特開2000-348600
特許番号：特許第3585396号
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルミニウム陽極酸化膜に設けられた細孔を鋳型として、カーボン材料を気相成長させて円筒型電子源を形成するための電子源であるカーボンナノチューブを形成する工程と、前記細孔にカーボンナノチューブを形成した前記アルミニウム陽極酸化膜の片面あるいは両面に対して、カーボンと異なる材料を堆積する工程と、前記アルミニウム陽極酸化膜を除去しカーボンナノチューブの端部にカーボンと異なる材料が堆積された状態となる工程とを含むことを特徴とする冷陰極の製造方法。

IPC (4件)：