放電電極、高周波プラズマ発生装置、給電方法および半導体製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工藤実 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-171564
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007028
特許番号：特許第3276346号
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】供給された高周波電力に基づいて放電状態を発生させるための放電電極であって、前記高周波電力が供給される電極本体と、前記電極本体に供給された高周波電力の反射波が前記電極本体で発生することを防止する反射波防止部とを備えた放電電極。

IPC (3件)：