特許
J-GLOBAL ID：201103034919222447
薄膜圧電共振器およびそれを用いた薄膜圧電フィルタ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-020717
公開番号（公開出願番号）：特開2011-160232
出願日： 2010年02月01日
公開日（公表日）： 2011年08月18日
要約：
【課題】スプリアス振動に基づくノイズの発生を抑制し、大きなkt2を維持しながら高いQ値を有する薄膜圧電共振器およびそれを用いた薄膜圧電フィルタを提供する。【解決手段】基板6と、基板上に形成される下部電極8と、基板6と下部電極8との間に形成される空隙または音響反射層と、下部電極上に形成される圧電層2と、圧電層上に形成される上部電極10と、上部電極上に形成される質量負荷層16とを含む薄膜圧電共振器であって、下部電極8と空隙または音響反射層と圧電層2と上部電極10とが重なる振動領域が、質量負荷層16の投影面が形成する領域に内包されており、質量負荷層16の少なくとも一方の端部は、前記端部と同じ方向の前記上部電極10の端部よりも水平方向に張り出し、前記張り出した部分の水平距離(W)は、0を超え15μm未満である薄膜圧電共振器である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板上に形成される下部電極と、前記基板と前記下部電極との間に形成される空隙または音響反射層と、前記下部電極上に形成される圧電層と、前記圧電層上に形成される上部電極と、前記上部電極上に形成される質量負荷層とを含む薄膜圧電共振器であって、
薄膜圧電共振器を上から見た場合に、前記下部電極と前記空隙または音響反射層と前記圧電層と前記上部電極とが重なる振動領域が、前記質量負荷層の投影面が形成する領域に内包されており、
薄膜圧電共振器を側面から見た場合に、前記質量負荷層の少なくとも一方の端部は、前記端部と同じ方向の前記上部電極の端部よりも水平方向に張り出し、
前記張り出した部分の水平距離(W)は、0を超え15μm未満である薄膜圧電共振器。
IPC (7件)：
H03H 9/17
, H03H 3/04
, H03H 9/54
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/22
, B81B 3/00
H03H9/17 F
, H03H3/04 Z
, H03H9/54 Z
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/08 K
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
, B81B3/00
3C081AA13
, 3C081BA45
, 3C081BA46
, 3C081BA55
, 3C081EA22
, 5J108AA01
, 5J108AA07
, 5J108BB08
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108EE17
, 5J108GG03
, 5J108HH02
, 5J108HH03
, 5J108HH05
, 5J108KK07
