特許
J-GLOBAL ID：201103035545736596
感放射線組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
特許業務法人センダ国際特許事務所
, 橋本 幸治
, 辻永 和徳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-046374
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241978
特許番号：特許第4132355号
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 塗膜形成樹脂(A)、光酸発生剤(B)及び有機塩基(C)を含有する感放射線組成物に於いて、
塗膜形成樹脂(A)が、酸の存在下、それぞれ異なった分解率を示しアルカリ可溶となる、下記構造単位(I)と(III)からなる樹脂(A1)と、下記構造単位(II)と(III)からなる樹脂(A2)との混合物である樹脂組成物であって、樹脂(A1)のQとM(ここで、樹脂(A1)のQは、
構造単位(I)のモル数/{構造単位(I)のモル数+構造単位(III)のモル数}であり、
樹脂(A1)のMは、塗膜形成樹脂(A)の構造単位(I)を全て(III)に置き換えた場合のポリスチレン換算重量平均分子量である。)の値が、0.45≦Q≦1.0、かつ500≦M≦8000であり、樹脂(A1)、樹脂(A2)の重量比が、0.25≦A1/(A1+A2)≦0.40であることを特徴とする感放射線組成物。
(ただし、R1、R5、及びR7はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を表し、R2及びR3はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1以上2以下のアルキル基を表し、R4及びR6はそれぞれ独立に炭素数1以上10以下の鎖状または環状のアルキル基を表す。また、R2とR3あるいはR2とR4とが互いに結合して、炭素数3以上10以下の環を形成していてもよい。)
IPC (2件)：
G03F 7/039 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
