探針評価法および走査形プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-014813
公開番号（公開出願番号）：特開2001-208669
特許番号：特許第3950609号
出願日： 2000年01月24日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】突部を有する標準試料を用意し、その標準試料と探針間にバイアス電圧を印加した状態で、前記探針を前記突部のまわりに回転させ、その時に探針と突部間に流れる前記探針と前記突部との距離に応じた強さを持つトンネル電流を前記回転の中心からの距離に対応するトンネル電流変化ループに変換することにより前記探針の中心軸に直交する断面形状を求めて、探針を評価するようにしたことを特徴とする探針評価法。

IPC (1件)：