画像測定機のテーブル撓み補正方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：別役重尚 , 村松聡 , 後藤夏紀 , 池田浩 , 二宮浩康
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-213593
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041711
特許番号：特許第4150474号
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】自重によって撓みが生じるテーブル上に載置された被測定物の寸法・形状を測定する画像測定機のテーブル撓み補正方法であって、テーブル面の周縁部のZ軸方向位置を基準面位置として測定し、前記テーブル面の周縁部以外の複数のX-Y座標位置におけるZ軸方向位置を測定し、前記基準面位置と前記測定した複数のX-Y座標位置におけるZ軸方向位置との誤差を算出して誤差ファイルを作成し、前記テーブル上に載置された被測定物の測定点におけるZ軸方向位置を測定し、該測定したZ軸方向位置を前記誤差ファイルを使用して補正することを特徴とする画像測定機のテーブル撓み補正方法。

IPC (3件)：