球状体の形状測定方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-373615
公開番号（公開出願番号）：特開2002-236008
特許番号：特許第3862152号
出願日： 2001年12月07日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】球状体を投影面内に収まる範囲の糊剤を介して測定板に位置決めするマウント工程と、測定板を透過する平行光で球状体を撮像し画像処理で球状体の形状を算出する測定工程とを有する球状体の形状測定方法において、前記マウント工程は、吸着板の所定位置に球状体を保持し、球状体の反吸着板側頂点部に糊剤を付着し、前記頂点部と光透過性の測定板とを当接して球状体を測定板に貼り付けて移し替えるものであり、前記測定工程は、測定板に平行光を透過させ、球状体の投影像を撮像し、投影面を画像処理して球状体の形状を算出することを特徴とする球状体の形状測定方法。

IPC (1件)：