ガラス基板のスパッタリング方法及びスパッタリング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上学
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-150200
公開番号（公開出願番号）：特開2000-336476
特許番号：特許第4378790号
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ガラス基板を略垂直に保持した状態で、該ガラス基板の表面に薄膜を形成するスパッタリング方法において、前記ガラス基板の表面に対して直交する方向に回転するローラーを備える基板支持部を有し、該基板支持部のローラー上にガラス基板を支持した状態で、該ガラス基板の表面に薄膜を形成する処理を行なうことを特徴とするガラス基板のスパッタリング方法。

IPC (1件)：