特許
J-GLOBAL ID：201103039511118031
界面遷移領域の測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
机 昌彦 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109561
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304709
特許番号：特許第3387446号
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1の物質と第2の物質の積層された基板の断面が切り出されて作成された試料に対して、前記断面に所定のエネルギーを有する電子が照射され、前記試料を透過する電子のうち、前記第1の物質あるいは第2の物質特有のプラズモン励起によって生じるエネルギー損失を有する電子の電子量が計測されることを特徴とする界面遷移領域の測定方法。
IPC (4件)：
G01N 23/04
, G01B 15/02
, H01J 37/252
, H01L 21/66
G01N 23/04
, G01B 15/02 B
, H01J 37/252 Z
, H01L 21/66 P
, H01L 21/66 Q
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
