超音波プローブの一部を内蔵した基板載置台及び超音波プローブ貫通孔の密閉装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：眞鍋潔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-285985
公開番号（公開出願番号）：特開2003-100714
特許番号：特許第3541359号
出願日： 2001年09月19日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】高電圧電源により電極間にプラズマを発生させるブラズマ処理装置の基板載置台の外周縁部に少なくとも3個以上の、超音波検出部に接続される超音波プローブを外部より装着し、超音波音響プローブは、電気的に絶縁物で且つ載置台の構成材質と同程度の固く、音響インピーダンスの近い材質で構成され、超音波検出部へのウェーブガイドとなることを特徴とした超音波プローブの一部を内蔵した基板載置台。

IPC (4件)：