特許

J-GLOBAL ID：201103041208055668

薄状部材のハンドリング方法およびその装置

発明者： 樋口 俊郎 ,  傅 寶▲莱▼
出願人/特許権者： 独立行政法人科学技術振興機構
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-007850
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198759
特許番号：特許第4476404号
出願日： 2000年01月17日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 薄状部材のハンドリング方法において、 前記薄状部材を吸引支持するための静電気力により、前記薄状部材の下部が固定部に支持され、前記薄状部材は傾斜した状態にして保持する第1のハンドリング装置に対向するように、前記薄状部材を吸引支持するための静電気力により、固定部に前記薄状部材の下部が支持され、前記薄状部材は傾斜した状態にして保持する第2のハンドリング装置を配置し、前記第1のハンドリング装置の保持から前記第2のハンドリング装置の保持へ移行可能にすることを特徴とする薄状部材のハンドリング方法。

IPC (4件)：

B65G 49/06 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B23Q 3/15 ( 200 6.01) ,  H02N 13/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B65G 49/06 Z ,  H01L 21/68 A ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 静電浮上型搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-072137   出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー, 大隅雄三郎
• 静電浮上チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-314516   出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー, 大隅雄三郎
• 特開平2-164288
  
• 静電浮上システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-131869   出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー