ウエット処理装置およびウエット処理方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (7件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 西和哉 , 村山靖彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-338525
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142453
特許番号：特許第4076755号
出願日： 2001年11月02日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】帯状の被処理物のウエット処理のための処理液を帯状の被処理物に向けて供給するウエット処理手段が1以上設けられた複数のウエット処理領域が備えられた処理室内に帯状の被処理物を搬送してウエット処理を順次行うウエット処理装置であって、前記処理室内には、該処理室内に搬送された1枚の帯状の被処理物を部分的に上向きに凹状とした状態でウエット処理する凹状ウエット処理領域が一カ所以上設けられ、前記凹状ウエット処理領域には、前記帯状の被処理物を部分的に水平に搬送する水平搬送機構が備えられ、前記処理室内の凹状ウエット処理領域の後方側には、帯状の被処理物を部分的に水平状態としながらウエット処理する水平ウエット処理領域が一カ所以上設けられ、前記凹状ウエット処理領域内の水平搬送領域及び前記水平ウエット処理領域の水平搬送領域に、前記帯状の被処理物に対する面に処理液を導入する処理液導入部と、前記帯状の被処理物から処理液を回収するための処理液回収部と、前記処理液導入部と処理液回収部を連結した連結部とを主体としてなり、前記連結部と前記被処理物との間の空間に前記処理液導入部から供給した処理液を満たしつつ前記処理液回収部から排出する操作を行い、前記連結部と前記被処理物との間に大気圧と均衡した状態の処理液を外部に漏らすことなく保持しながら前記被処理物をウエット処理するプッシュ・プル型ノズルを備えてなることを特徴とするウエット処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/306 ( 200 6.01) , B08B 3/04 ( 200 6.01) , H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (5件)：

H01L 21/306 R , B08B 3/04 B , H01L 21/304 643 B , H01L 21/304 643 C , H01L 21/304 651 G

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭53-058464
ウエット処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-148161 出願人：大見忠弘, 株式会社フロンテック
超音波洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-325209 出願人：株式会社カイジョー

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