特許
J-GLOBAL ID:201103044067361432
二次元画像検出器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
杉谷 勉
, 戸高 弘幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-088756
公開番号(公開出願番号):特開2011-222667
出願日: 2010年04月07日
公開日(公表日): 2011年11月04日
要約:
【課題】変換層の温度変化を抑制することにより、暗電流を低減することが可能な二次元画像検出器を提供する。【解決手段】積層された変換層3およびアクティブマトリックス基板5を固定するベース板9には、変換層3が配置された部分とアクティブマトリックス基板5に外部回路7が接続された部分との間を分ける貫通孔31が設けられている。それにより、熱源である外部回路7から配線7aを通じて伝わる熱をベース板9の貫通孔31より外側部分で除熱した熱が、ベース板9の変換層3が配置された貫通孔31より内側部分に移動することを抑えることができる。すなわち、ベース板9の貫通孔31より内側部分では変換層3の温度を一定にすることができ、一方、ベース板9の貫通孔31より外側部分では配線7aを通じて伝わる熱を積極的に除熱することができる。そのため、変換層3の温度変化を抑制することができる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
光または放射線を電荷信号に変換する変換層と、
前記変換層で変換された電荷信号を蓄積して読み出す蓄積・読み出し回路と、
前記蓄積・読み出し回路に電気的に接続された外部回路と、
積層された前記変換層および前記蓄積・読み出し回路を固定するベース板と、を備え、
前記ベース板には、前記変換層が配置された部分と前記蓄積・読み出し回路に前記外部回路が接続された部分との間を分ける第1断熱部が設けられていることを特徴とする二次元画像検出器。
IPC (5件):
H01L 27/14
, H01L 27/146
, H04N 5/225
, H04N 5/32
, G01T 1/24
FI (7件):
H01L27/14 D
, H01L27/14 C
, H01L27/14 K
, H04N5/225 D
, H04N5/32
, G01T1/24
, H04N5/225 C
Fターム (32件):
2G088GG21
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088LL21
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118CA14
, 4M118CB05
, 4M118FB03
, 4M118FB09
, 4M118FB13
, 4M118FB16
, 4M118FB23
, 4M118GA10
, 4M118HA02
, 4M118HA12
, 4M118HA22
, 4M118HA33
, 4M118HA36
, 5C024AX11
, 5C024CX32
, 5C024EX21
, 5C024EX26
, 5C024GY31
, 5C122DA17
, 5C122EA23
, 5C122EA26
, 5C122FC02
, 5C122GE05
, 5C122GE10
, 5C122GE11
, 5C122GE18
引用特許:
審査官引用 (7件)
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放射線固体検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-073894
出願人:富士フイルム株式会社
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赤外線センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-349618
出願人:株式会社東芝
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外部回路実装方法および熱圧着装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-381815
出願人:シャープ株式会社, 株式会社島津製作所
-
二次元画像検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-030632
出願人:株式会社島津製作所
-
放射線検出用カセッテ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-057527
出願人:富士写真フイルム株式会社
-
固体撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-154519
出願人:浜松ホトニクス株式会社
-
半導体装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-130354
出願人:ソニー株式会社
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