特許

J-GLOBAL ID：201103045901068485

荷電粒子線装置及び試料観察方法

発明者： 森川 晃成 ,  佐藤 岳志 ,  中澤 英子 ,  桑畑 進
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-282431
公開番号（公開出願番号）：特開2011-124162
出願日： 2009年12月14日
公開日（公表日）： 2011年06月23日
要約：

【課題】電子顕微鏡等による各種観察やイオンビームによる加工に適するように、試料に付着させるイオン液体の形状及び膜厚を調整する機構を有する荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】開口部を有するイオン液体保持部材と、前記開口部にイオン液体を充填するためのイオン液体供給部と、前記イオン液体の付着状態を観察するための観察部と、荷電粒子線を照射するための荷電粒子線発生部とを含み、試料を前記イオン液体の内部又は前記イオン液体の表面に分散させることにより前記試料を前記イオン液体に浮かせた状態で観察するために前記開口部に充填する前記イオン液体の厚さを調整可能とした荷電粒子線装置を作製する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

開口部を有するイオン液体保持部材と、前記開口部にイオン液体を充填するためのイオン液体供給部と、前記イオン液体の付着状態を観察するための観察部と、荷電粒子線を照射するための荷電粒子線発生部とを含み、試料を前記イオン液体の内部又は前記イオン液体の表面に分散させることにより前記試料を前記イオン液体に浮かせた状態で観察するために前記開口部に充填する前記イオン液体の厚さを調整可能としたことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/16

FI (6件)：

H01J37/20 F ,  H01J37/20 G ,  H01J37/20 H ,  H01J37/20 Z ,  H01J37/20 E ,  H01J37/16

Fターム (3件)：

5C001AA01 ,  5C001AA08 ,  5C001BB07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 透過型電子顕微鏡、及び試料観察方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-117547   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 防着板、真空処理装置、及び防着板の再生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-237638   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 二次イオン質量分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-300440   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
• イオンビーム発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-253002   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所