特許
J-GLOBAL ID：200903014824282141

透過型電子顕微鏡、及び試料観察方法

発明者：
中澤 英子

中澤 英子 について

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小林 弘幸

小林 弘幸 について

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桑畑 進

桑畑 進 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-117547
公開番号（公開出願番号）：特開2009-266741
出願日： 2008年04月28日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：
【課題】試料を変形させずに試料そのものの形状を観察することのできる手段を提供する。【解決手段】開口部を有する試料保持部材(例えば、マイクログリッドやメッシュ等)にイオン液体を保持し、そこに試料を投入することによってイオン液体中に試料を浮かして観察する。さらに、試料保持部材の近傍に、イオン液体を注入する機構(イオン液体導入機構)及び/又は電極を設けている。電極に電圧を印加すると、試料がイオン液体中で移動・変形でき、移動したり変形したりする様子を観察することができるようになる。また、試料保持部材の近傍に、蒸着装置を設けて蒸着しながらイオン液体内に試料を投入できるようにする。さらに、試料保持部材の近傍に、マイクロキャピラリーを設け、液体状の試料をイオン液体内に投入できるようにする。また、試料保持部材は回転できるようになっている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料室に設置された試料に対して電子線を照射し、前記試料を透過した電子線から試料像を生成する透過型電子顕微鏡であって、 前記試料を前記試料室に導入するための試料ホルダーであって、その先端部である試料保持部材が前記電子線を透過させるための開口部を有し、前記試料が投入されたイオン液体を前記開口部で保持する、試料ホルダーと、 前記試料を透過した電子線に基づいて試料像を生成する画像生成部と、 を備えることを特徴とする透過型電子顕微鏡。
IPC (1件)：
H01J 37/20
FI (3件)：
H01J37/20 A ,  H01J37/20 F ,  H01J37/20 E
Fターム (5件)：
5C001AA01 ,  5C001AA06 ,  5C001BB06 ,  5C001BB07 ,  5C001CC03
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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