電子顕微鏡および分光システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：谷義一 , 阿部和夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-548694
特許番号：特許第4392990号
出願日： 1999年05月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】別の分析装置の試料チャンバに取り付けられた試料の分光分析を行うためのアダプタであって、前記分析装置が分析軸線を有すると共にこの分析軸線にほぼ沿って分析ビームを試料に向けて投射し、前記アダプタは、前記分析軸線をほぼ横切る軸線に沿って入力光ビームを受け入れるように配置される反射鏡を具え、この反射鏡は、凹面であって前記入力光ビームを前記試料上の一点に合焦させ、かつ前記試料から与えられる散乱光を集光してこの散乱光を分光分析のために前記横切る軸線に沿って後方に指向させるものであり、前記反射鏡は、前記分析軸線上の操作位置と前記分析軸線から離れた非操作位置との間を移動可能であって、合焦した前記点が前記試料上の同じ点に位置するように、前記入力光ビームの軸線と前記凹面鏡の軸線とのアライメントを維持する。

IPC (2件)：