特許
J-GLOBAL ID：201103046166842844

収容カセット

発明者：
馬橋 隆之

馬橋 隆之 について

, 
中西 優爾

中西 優爾 について

, 
増地 純郎

増地 純郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 松本 昂 ,  伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-058668
公開番号（公開出願番号）：特開2011-192863
出願日： 2010年03月16日
公開日（公表日）： 2011年09月29日
要約：
【課題】 環状フレームの撓み及び粘着テープの撓みを抑制可能な収容カセットを提供することである。【解決手段】 ウエーハを収容する開口部を有する環状フレームと、該環状フレームの開口部を覆うように外周部が該環状フレームに貼着された粘着テープと、該粘着テープの中央に貼着されたウエーハとから構成されるウエーハユニットを収容する収容カセットであって、該収容カセットは、上壁と、底壁と、該上壁と底壁とを連結する一対の側壁と、ウエーハユニットが出し入れされる開口部とを有し、該一対の側壁の内側には該環状フレームを支える複数対のガイドレールが該上壁から該底壁に渡り所定の間隔を持って形成されており、該各ガイドレールは、該環状フレームのうち該粘着テープが貼着されていない外側を支える外側支持部と、該粘着テープが貼着された内側を支える内側支持部とを備え、該内側支持部は該外側支持部に対して該粘着テープの厚さに相当する段差分低く形成されていることを特徴とする。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
ウエーハを収容する開口部を有する環状フレームと、該環状フレームの開口部を覆うように外周部が該環状フレームに貼着された粘着テープと、該粘着テープの中央に貼着されたウエーハとから構成されるウエーハユニットを収容する収容カセットであって、 該収容カセットは、上壁と、底壁と、該上壁と底壁とを連結する一対の側壁と、ウエーハユニットが出し入れされる開口部とを有し、 該一対の側壁の内側には該環状フレームを支える複数対のガイドレールが該上壁から該底壁に渡り所定の間隔を持って形成されており、 該各ガイドレールは、該環状フレームのうち該粘着テープが貼着されていない外側を支える外側支持部と、該粘着テープが貼着された内側を支える内側支持部とを備え、 該内側支持部は該外側支持部に対して該粘着テープの厚さに相当する段差分低く形成されていることを特徴とする収容カセット。
IPC (1件)：
H01L 21/673
FI (1件)：
H01L21/68 V
Fターム (20件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA13 ,  5F031EA19 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031HA57 ,  5F031HA59 ,  5F031HA78 ,  5F031JA04 ,  5F031JA27 ,  5F031JA38 ,  5F031MA34 ,  5F031PA18
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM