特許
J-GLOBAL ID：200903010617404193

処理治具用の収納容器

発明者：
谷口 敦

谷口 敦 について

, 
細野 則義

細野 則義 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-016022
公開番号（公開出願番号）：特開2009-177050
出願日： 2008年01月28日
公開日（公表日）： 2009年08月06日
要約：
【課題】支持片とリングフレームの接触に伴う異物の発生を抑制し、リングフレームのがたつきを抑制でき、容器本体の構成を簡素化して部品点数を低減できる処理治具用の収納容器を提供する。【解決手段】前後部が開口した容器本体10と、容器本体10の両側壁14内面に対向して形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片20とを備え、容器本体10の上下方向に一対の支持片20を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片20と支持片20の間をリングフレーム用の挿入溝21に形成する。そして、各支持片20の後部に、リングフレームの側部後方に干渉するストッパ22を設け、ストッパ22には、下方の支持片20に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面23を形成する。傾斜面23が挿入溝21を徐々に埋めるので、リングフレームの上下方向へのがたつきを抑制防止でき、リングフレームの損傷を防止できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
前後部がそれぞれ開口した容器本体と、この容器本体の両側壁の内面に対向して突出形成され、基板を搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片とを備えた処理治具用の収納容器であって、 容器本体の少なくとも両側壁と一対の支持片とを、摺動性の樹脂を含む成形材料により成形し、容器本体の上下方向に一対の支持片を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片と支持片との間をリングフレーム用の挿入溝に区画形成し、支持片と挿入溝のいずれか一方の略後部に、リングフレームの側部後方に対向するストッパを設けるとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成したことを特徴とする処理治具用の収納容器。
IPC (2件)：
H01L 21/673 ,  B65D 85/86
FI (2件)：
H01L21/68 T ,  B65D85/38 R
Fターム (35件)：
3E096AA06 ,  3E096BA15 ,  3E096BA16 ,  3E096BA19 ,  3E096BB05 ,  3E096CA02 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096DA01 ,  3E096DA05 ,  3E096DA17 ,  3E096DA23 ,  3E096DA25 ,  3E096DB06 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096FA31 ,  3E096GA04 ,  3E096GA07 ,  3E096GA09 ,  3E096GA13 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA13 ,  5F031EA06 ,  5F031EA09 ,  5F031EA10 ,  5F031EA12 ,  5F031EA16 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (5件)
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