特許
J-GLOBAL ID：201103046214552454

圧電振動素子、及び圧電振動子

発明者：
田中 良明

田中 良明 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-072350
公開番号（公開出願番号）：特開2011-205516
出願日： 2010年03月26日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：
【課題】小型でQ値が高く、インハーモニックオーバートン、高次輪郭振動等のスプリアスの低減された圧電振動素子を得る。【解決手段】厚み振動するエネルギー閉じ込め型圧電振動素子であって、振動領域を備えた矩形の圧電振動基板5と、圧電振動基板の主面上の振動領域内に夫々形成された第1の励振電極11a、11bと、を備える。圧電振動基板5は、少なくとも一方の主面の振動領域内には、少なくとも外径側に位置する第1の平面部5aと、その内径側に位置し、且つ厚さ方向外側へ突出した突部と、を有している。突部は、第1の平面部よりも厚さ方向外側へ突出した略楕円形状の第2の平面部5bと、その内径側に位置し、且つ厚さ方向外側へ突出した略楕円形状の第3の平面部5cと、を有している。第2及び第3の平面部の外形は、夫々楕円形状の輪郭線の少なくとも一部であると共に、夫々の焦点間を結ぶ線分の中点が、夫々前記振動領域の中心に位置する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
厚み振動をするエネルギー閉じ込め型圧電振動素子であって、 振動領域を備えた矩形の圧電振動基板と、 前記圧電振動基板の表裏主面上の振動領域内に夫々形成された第1の励振電極、及び第 2の励振電極と、を備え、 少なくとも一方の主面の前記振動領域内には、少なくとも外径側に位置する第1の平面 部と、該第1の平面部の内径側に位置し且つ厚さ方向外側へ突出した突部と、を有し、 前記突部は、前記第1の平面部よりも厚さ方向外側へ突出した略楕円形状の第2の平面 部と、前記第2の平面部の内径側に位置し且つ厚さ方向外側へ突出した略楕円形状の第3 の平面部と、を有し、 前記第2及び第3の平面部の外形は、夫々楕円形状の輪郭線の少なくとも一部であると 共に夫々の焦点間を結ぶ線分の中点が夫々前記振動領域の中心に位置していることを特徴 とする圧電振動素子。
IPC (3件)：
H03H 9/19 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09
FI (3件)：
H03H9/19 E ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 C
Fターム (10件)：
5J108AA01 ,  5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC05 ,  5J108CC08 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108FF02
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (13件)
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