特許
J-GLOBAL ID:201103047257214737
カーボンナノチューブ電子素子および電子源
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
ポレール特許業務法人
, 小川 勝男
, 田中 恭助
, 佐々木 孝
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-563538
特許番号:特許第4512176号
出願日: 2001年02月08日
請求項(抜粋):
【請求項1】 表面が絶縁体とされた基板、該基板上に配列された多層カーボンナノチューブ、該多層カーボンナノチューブの両端が清浄面とされた後に電極材と接触させられた構造を有する電子素子において、前記電極材が炭素原子と強い化学結合をする金属であることを特徴とする電子素子。
IPC (9件):
H01L 29/06 ( 200 6.01)
, B82B 1/00 ( 200 6.01)
, H01J 1/304 ( 200 6.01)
, H01J 9/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/8246 ( 200 6.01)
, H01L 27/105 ( 200 6.01)
, H01L 29/66 ( 200 6.01)
, H01L 29/786 ( 200 6.01)
, H01L 43/08 ( 200 6.01)
FI (8件):
H01L 29/06 601 N
, B82B 1/00
, H01J 1/30 ZNM F
, H01J 9/02 B
, H01L 27/10 447
, H01L 29/66 M
, H01L 29/78 618 B
, H01L 43/08 Z
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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