感光性樹脂組成物および該組成物を使用した反応現像画像形成方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：加藤久 , 久保山隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-200917
公開番号（公開出願番号）：特開2011-053366
出願日： 2009年08月31日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：

【課題】現像液として有機溶媒の使用を不要とし、アルカリ水溶液のみにより現像可能なポリイミド樹脂含有ネガ型感光性樹脂組成物および該感光性樹脂組成物を使用する反応現像画像形成法を提供する。【解決手段】ポリイミド樹脂、アニオン再生剤及び光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記ポリイミド樹脂のアルカリ加水分解物がアルカリ水溶液に可溶である感光性樹脂組成物。該感光性樹脂組成物は、現像液に有機溶媒を含まないアルカリ水溶液で現像可能なネガ型感光性ポリイミド樹脂組成物であり、該感光性樹脂組成物を使用する反応現像画像形成法によって、紫外線照射後の露光部と非露光部の現像液に対する溶解性に顕著な差ができ、ネガ型のフォトレジストを形成することができる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ポリイミド樹脂、アニオン再生剤及び光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記ポリイミド樹脂のアルカリ加水分解物がアルカリ水溶液に可溶であることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 , G03F 7/004 , G03F 7/037 , H01L 21/027 , C08G 73/10

FI (6件)：

G03F7/038 505 , G03F7/004 501 , G03F7/038 504 , G03F7/037 , H01L21/30 502R , C08G73/10

Fターム (39件)：

2H125AF02P , 2H125AM77P , 2H125AM99P , 2H125AN05P , 2H125AN82P , 2H125AN84P , 2H125BA00P , 2H125BA28P , 2H125CA13 , 2H125CB06 , 2H125CC01 , 4J043PA06 , 4J043PA08 , 4J043PB08 , 4J043PB15 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043QC02 , 4J043RA35 , 4J043SA06 , 4J043SA44 , 4J043SA47 , 4J043TA22 , 4J043TA47 , 4J043TA74 , 4J043TB03 , 4J043UA031 , 4J043UA121 , 4J043UA132 , 4J043UA171 , 4J043UA231 , 4J043VA022 , 4J043VA051 , 4J043XA03 , 4J043XA08 , 4J043ZA16 , 4J043ZA22 , 4J043ZB22 , 4J043ZB50

引用特許：

審査官引用 (8件)

ポリイミド組成物、フレキシブル配線板、及び、フレキシブル配線板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-213565 出願人：ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社
反応現像画像形成法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-122964 出願人：国立大学法人横浜国立大学
反応現像画像形成法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-225970 出願人：国立大学法人横浜国立大学

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