特許
J-GLOBAL ID：201103048424924632
インプリント装置及び物品の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-256544
公開番号（公開出願番号）：特開2011-100952
出願日： 2009年11月09日
公開日（公表日）： 2011年05月19日
要約：
【課題】 パターンの崩壊を抑制しつつ効率よくモールドを樹脂から離型し得るインプリント装置を提供する。【解決手段】 インプリント装置は、基板ステージ及びモールドステージの少なくとも一方をxyz座標系におけるz軸の方向に沿って駆動することにより、基板に塗布された樹脂に対してモールドを押し付ける第1駆動機構と、前記基板ステージ及び前記モールドステージの少なくとも一方を前記xyz座標系におけるxy平面内のチルト軸の回りでチルトさせるチルト駆動機構と、前記第1駆動機構及び前記チルト駆動機構を動作させて前記硬化された樹脂を前記モールドから引き剥がす離型工程の少なくとも一部において、前記モールドを前記硬化された樹脂から引き離すように前記第1駆動機構を制御し、かつ、前記チルト軸の方向を前記xy平面内で連続的又は間欠的に変更するように前記チルト駆動機構を制御する制御部と、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板ステージとモールドステージとを備え、前記基板ステージにより保持された基板に樹脂を塗布し、その樹脂に前記モールドステージに保持されたモールドを押し付けて前記樹脂を硬化するインプリント動作をショットごとに繰り返すインプリント装置であって、
前記基板ステージ及び前記モールドステージの少なくとも一方をxyz座標系におけるz軸の方向に沿って駆動することにより、前記基板に塗布された樹脂に対して前記モールドを押し付ける第1駆動機構と、
前記基板ステージ及び前記モールドステージの少なくとも一方を前記xyz座標系におけるxy平面内のチルト軸の回りでチルトさせるチルト駆動機構と、
前記第1駆動機構及び前記チルト駆動機構を動作させて前記硬化された樹脂を前記モールドから引き剥がす離型工程の少なくとも一部において、前記モールドを前記硬化された樹脂から引き離すように前記第1駆動機構を制御し、かつ、前記チルト軸の方向を前記xy平面内で連続的又は間欠的に変更するように前記チルト駆動機構を制御する制御部と、を備えることを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C59/02 Z
4F209AA44
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209AP06
, 4F209AR07
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN13
, 5F046AA28
, 5F146AA28
