圧力感度及び温度感度を低減したひずみゲージ及びその設計方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , , ,
代理人 (2件)：大多和明敏 , 大多和曉子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-220714
公開番号（公開出願番号）：特開2003-035506
特許番号：特許第4482250号
出願日： 2001年07月19日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】合金薄膜からなる薄膜ひずみゲージにおいて、抵抗膜の横方向長さ(lA)及び抵抗膜の縦方向長さ(lB)の比が lB=-Kl/Kw・lA 式中、Kl=材料合金の縦方向ひずみ感度、Kw=材料合金の横方向ひずみ感度である、を満たす形状であることを特徴とする合金薄膜ひずみゲージ。

IPC (4件)：

G01B 7/16 ( 200 6.01) , C22C 19/05 ( 200 6.01) , C23C 14/14 ( 200 6.01) , G01L 1/18 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01B 7/16 R , C22C 19/05 B , C23C 14/14 Z , G01L 1/18 Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭58-161803
特開昭61-275605
特開昭63-016202

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