強透過性薬液加熱装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：稲岡耕作 , 川崎実夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-249889
公開番号（公開出願番号）：特開2002-064076
特許番号：特許第3749824号
出願日： 2000年08月21日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板を処理するための強透過性薬液を加熱するための強透過性薬液加熱装置であって、フッ素樹脂からなり、強透過性の薬液が内部を流通する薬液流通配管と、この薬液流通配管の外部に設けられ、上記薬液流通配管の内部を流通している薬液を加熱するための発熱体と、上記薬液流通配管および発熱体を包囲して設けられたカバー部材と、このカバー部材の内部の気体を排出する気体排出手段と、上記カバー部材の内部に気体を導入する気体導入手段とを含み、前記薬液流通配管を透過してその外部に至った前記強透過性薬液のガスが、前記気体導入手段から導入される気体によって置換されるようにしてあり、前記薬液流通配管は上下方向に沿って配置されており、前記気体排出手段は、前記薬液流通配管よりも上方において前記カバー部材に形成され、前記カバー部材の内部の気体を排出する排気口を含み、前記気体導入手段は、前記薬液流通配管よりも下方において前記カバー部材に形成され、前記カバー部材の内部に気体を導入する気体導入口を含むことを特徴とする強透過性薬液加熱装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 ( 200 6.01) , H01L 21/306 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/304 648 K , H01L 21/306 J

引用特許：

出願人引用 (6件)

薬液の高温加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-153786 出願人：株式会社小松製作所, 小松エレクトロニクス株式会社
伝熱板
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-354255 出願人：日立化成工業株式会社
特開平3-174726

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審査官引用 (6件)

薬液の高温加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-153786 出願人：株式会社小松製作所, 小松エレクトロニクス株式会社
伝熱板
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-354255 出願人：日立化成工業株式会社
特開平3-174726

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