柱状構造膜とその成膜方法、圧電素子、液体吐出装置、及び圧電型超音波振動子

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：柳田征史 , 佐久間剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-188098
公開番号（公開出願番号）：特開2011-040644
出願日： 2009年08月14日
公開日（公表日）： 2011年02月24日
要約：

【課題】複雑なプロセスを要することなく、耐電圧に優れ駆動耐久性に優れた圧電膜等の柱状構造膜を提供する。【解決手段】柱状構造膜は、基板上に成膜され、基板の基板面に対して非平行方向に延びる多数の柱状体からなる柱状構造膜であり、気相成長法により成膜されたものであり、膜厚方向に見たときの水平方向の平均柱径の最大値をGSmaxとし、最小値をGSminとしたとき、GSmax>2.0GSminを充足する。GSmax/GSminの値が大きい膜構造では、膜厚方向のグレインバウンダリが膜の下面から上面まで貫通する確率が低くなり、リークパスが減少するため、耐電圧が向上し、駆動耐久性が向上する。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

基板上に成膜され、該基板の基板面に対して非平行方向に延びる多数の柱状体からなる柱状構造膜において、気相成長法により成膜されたものであり、膜厚方向に見たときの水平方向の平均柱径の最大値をGSmaxとし、最小値をGSminとしたとき、GSmax>2.0GSminを充足することを特徴とする柱状構造膜。

IPC (6件)：

H01L 41/24 , H01L 41/18 , H01L 41/09 , H01L 41/22 , C23C 14/08 , B41J 2/16

FI (8件)：

H01L41/22 A , H01L41/18 101Z , H01L41/08 C , H01L41/08 L , H01L41/08 J , H01L41/22 Z , C23C14/08 K , B41J3/04 103H

Fターム (11件)：

2C057AF65 , 2C057AG44 , 2C057AP52 , 2C057AQ02 , 4K029BA48 , 4K029BA50 , 4K029BB07 , 4K029BC00 , 4K029BD00 , 4K029CA06 , 4K029DC35

引用特許：

審査官引用 (4件)

圧電素子及びインクジェットヘッド並びにそれらの製造方法、並びにインクジェット式記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-344446 出願人：松下電器産業株式会社
圧電体薄膜素子、インクジェットヘッドおよびインクジェット式記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-168330 出願人：松下電器産業株式会社
無機膜基板とその製造方法、圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-314261 出願人：富士フイルム株式会社, 富士ゼロックス株式会社

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