特許
J-GLOBAL ID:201103051509227885
基板用カセット
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
藤本 英介
, 神田 正義
, 宮尾 明茂
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-203889
公開番号(公開出願番号):特開2001-036267
特許番号:特許第4082825号
出願日: 1999年07月16日
公開日(公表日): 2001年02月09日
請求項(抜粋):
【請求項1】 底板の外周部から起立する複数の支持柱で天板を支持させたカセット本体と、
前記底板と前記天板との間に、左右の面の少なくとも一方の面に前後方向への係合溝を複数列形成した棚板を左右方向に摺動自在に複数設け、
前記底板と前記天板の少なくとも一方に、左右方向へ長い複数の長孔からなる長孔群を形成し、各長孔を介して前記棚板を締結自在に設けた基板用カセットであって、
2以上の前記長孔を前後方向へ配列して形成した長孔列を左右方向へ複数列配置し、かつ左右に隣接する該長孔列の長孔を前後方向へずらして、一方の長孔列の長孔の端部を他方の長孔列の長孔間へ位置させて前記長孔群を形成し、
前記棚板は、前記長孔列毎に、該長孔列の2以上の前記長孔で締結され、
前記係合溝は、前記前後方向に関する前部と後部をそれぞれ端部に向かって溝を深く形成していることを特徴とする基板用カセット。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
審査官引用 (17件)
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特開平4-245453
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検出器の取付け具、検出器の取付け構造および検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-254334
出願人:オムロン株式会社
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板状物の保持治具
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-271352
出願人:株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
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基板収納用カセット治具
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-097175
出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立マイコンシステム
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ウェハキャリア
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-350820
出願人:ソニー株式会社
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板状部品を収容するためのカセット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-253407
出願人:日本バルカー工業株式会社
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特表平5-508746
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板材収納枠構造
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-221237
出願人:株式会社日立テレコムテクノロジー
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画像形成装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-113163
出願人:株式会社リコー
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半導体ウエハ用キヤリヤ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-096149
出願人:ソニー株式会社
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特開平4-242578
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特開平4-245453
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特表平5-508746
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特開平4-242578
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特開平4-245453
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特表平5-508746
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特開平4-242578
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