特許
J-GLOBAL ID：201103053315406013
形状測定装置、形状測定方法およびプログラム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
亀谷 美明
, 金本 哲男
, 萩原 康司
, 松本 一騎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-236288
公開番号（公開出願番号）：特開2011-085411
出願日： 2009年10月13日
公開日（公表日）： 2011年04月28日
要約：
【課題】処理に要する演算負荷が入力画像に依存せず、接続前の位相に含まれるノイズによる誤差の発生を防止可能な、形状測定装置、形状測定方法およびプログラムの提供。【解決手段】本発明に係る形状測定装置は、長周期波により変調された短周期波からなる線状のレーザ光を測定対象物に照射し、当該測定対象物により反射された線状のレーザ光を撮像する物体撮像装置と、生成された測定対象物の撮像画像に対して画像処理を行い、測定対象物の形状を特定する演算処理装置とを備え、演算処理装置は、撮像画像に基づき長周期波および短周期波の位相を夫々算出する位相算出部と、算出された長周期波の位相に基づき重み付け最小二乗法により長周期波の位相を接続するとともに、接続された長周期波の位相に基づき重み付き最小二乗法により短周期波の位相を接続する位相接続部と、接続された短周期波の位相に基づき測定対象物の形状を特定する形状特定部とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
相対的に周期の長い長周期波により変調された相対的に周期の短い短周期波からなる線状のレーザ光を測定対象物に照射し、当該測定対象物により反射された前記線状のレーザ光を撮像する物体撮像装置と、
前記物体撮像装置により生成された前記測定対象物の撮像画像に対して画像処理を行い、前記測定対象物の形状を特定する演算処理装置と、
を備え、
前記演算処理装置は、
前記測定対象物の撮像画像に基づいて、当該撮像画像に含まれる前記長周期波および前記短周期波の位相をそれぞれ算出する位相算出部と、
前記位相算出部により算出された前記長周期波の位相に基づいて重み付き最小二乗法により前記長周期波の位相を接続するとともに、当該接続された長周期波の位相に基づいて重み付き最小二乗法により前記短周期波の位相を接続する位相接続部と、
前記位相接続部により接続された前記短周期波の位相に基づいて、前記測定対象物の形状を特定する形状特定部と、
を有する、形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (31件)：
2F065AA25
, 2F065AA53
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065CC06
, 2F065DD04
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065FF02
, 2F065FF04
, 2F065FF09
, 2F065FF42
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL10
, 2F065LL22
, 2F065LL59
, 2F065MM03
, 2F065NN02
, 2F065NN08
, 2F065NN11
, 2F065QQ00
, 2F065QQ14
, 2F065QQ18
, 2F065QQ27
, 2F065QQ31
, 2F065SS02
, 2F065SS13
