特許
J-GLOBAL ID:201103053341524628

光学式位置検出装置、ハンド装置および位置検出機能付き表示装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-273168
公開番号(公開出願番号):特開2011-117750
出願日: 2009年12月01日
公開日(公表日): 2011年06月16日
要約:
【課題】光源部から出射された検査光の一部を対象物体の有無にかかわらず強度が一定のブランク光としてモニターして光源部での駆動条件の設定等に利用するとともに、かかるブランク光が対象物体の位置検出を妨げることのない光学式位置検出装置、並びに当該光学式位置検出装置を備えたハンド装置および位置検出機能付き表示装置を提供すること。【解決手段】光学式位置検出装置10において、光源部11は、検査光L2を出射して検出領域10Rに光強度分布を形成し、対象物体Obで反射した位置検出用反射光L3を第1光検出器30で検出する。また、対象物体Obにより反射した位置検出用反射光L3が入射しない第2光検出器60が設けられており、かかる第2光検出器60には、検出領域10Rを経由しないブランク光L0が入射する。第1光検出器30については、位置検出用反射光L3が入射し、ブランク光L0が入射しない構成とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
対象物体の位置を光学的に検出する光学式位置検出装置であって、 検出光の出射方向に設定された検出領域に当該検出光の光強度分布を形成する光源部と、 前記光源部から出射された前記検出光のうち、前記検出領域において前記対象物体により反射した位置検出用反射光が入射し、前記検出領域を経由しないブランク光が入射しない第1光検出器と、 前記位置検出用反射光が入射せず、前記ブランク光が入射する第2光検出器と、 前記第1光検出器での検出結果に基づいて前記検出領域内の前記対象物体を検出する位置検出部と、 を有していることを特徴とする光学式位置検出装置。
IPC (2件):
G01B 11/00 ,  G06F 3/042
FI (2件):
G01B11/00 A ,  G06F3/042 F
Fターム (28件):
2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065BB05 ,  2F065BB15 ,  2F065CC16 ,  2F065DD04 ,  2F065DD12 ,  2F065FF41 ,  2F065FF61 ,  2F065GG07 ,  2F065GG12 ,  2F065GG13 ,  2F065GG21 ,  2F065HH02 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ07 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL12 ,  2F065NN02 ,  2F065NN17 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR06 ,  5B068AA01 ,  5B068BB18
引用特許:
審査官引用 (12件)
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