特許
J-GLOBAL ID：201103056127516781

感放射線性樹脂組成物、重合体及び化合物

発明者：
中島 浩光

中島 浩光 について

, 
木村 礼子

木村 礼子 について

, 
笠原 一樹

笠原 一樹 について

, 
中原 一雄

中原 一雄 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (7件)： 天野 一規 ,  藤本 勝誠 ,  藤井 康輔 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  加藤 早苗 ,  奥谷 優
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-111461
公開番号（公開出願番号）：特開2011-209667
出願日： 2010年05月13日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：
【課題】トップロスを抑制して矩形性が良好であり、LWR抑制能も満足し、かつパターン倒れが抑制されたレジストパターンを形成可能な感放射線性樹脂組成物の提供。【解決手段】[A]側鎖に3級炭素を有するエステル基が窒素原子に結合する構造を含む構造単位(1)を有する重合体を含有する感放射線性樹脂組成物。上記構造単位(1)が、(メタ)アクリレートの側鎖に含まれている構造単位であることが好ましい。上記[A]重合体が、ラクトン構造を含む構造単位及び環状カーボネート構造を含む構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位をさらに有することが好ましい。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
[A]下記式(I)で表される基が窒素原子に結合する構造を含む構造単位(1)を有する重合体 を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/039 ,  C08F 220/34 ,  C07D 211/46 ,  C07D 307/93 ,  C07D 317/36 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
G03F7/039 601 ,  C08F220/34 ,  C07D211/46 ,  C07D307/93 ,  C07D317/36 ,  H01L21/30 502R
Fターム (47件)：
2H125AF17P ,  2H125AF36P ,  2H125AH12 ,  2H125AH22 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ12X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ66X ,  2H125AL11 ,  2H125AN11P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN51P ,  2H125AN82P ,  2H125BA01P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4C037UA05 ,  4C054AA02 ,  4C054CC09 ,  4C054DD01 ,  4C054EE01 ,  4C054FF26 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA05Q ,  4J100BA11Q ,  4J100BA20R ,  4J100BA38R ,  4J100BC02R ,  4J100BC03R ,  4J100BC04R ,  4J100BC08R ,  4J100BC09P ,  4J100BC09R ,  4J100BC53Q ,  4J100BC60Q ,  4J100BC65R ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (16件)
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審査官引用 (17件)
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