リークテストシステム及びリークテスト方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺昇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-001099
公開番号（公開出願番号）：特開2002-206982
特許番号：特許第4409098号
出願日： 2001年01月09日
公開日（公表日）： 2002年07月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】多数のワークを収容して加圧ヘリウム雰囲気に置く密閉可能な容器を含む前処理装置と、上記ワークのヘリウムリークテストを行うリークテスト装置と、上記多数のワークを上記前処理装置から搬出し、かつ搬出した上記多数のワークを一部ずつ順次上記リークテスト装置にセットする転送機構と、上記ワークの搬出のために上記容器を開けるタイミングを、上記リークテストの進捗度又は速度に応じて上記タイミング以降上記多数のワークの全てのリークテストが終了するまでの時間が各ワークを大気解放しておける大気解放許容時間より短くなるよう調節する調節手段とを備えたことを特徴とするリークテストシステム。

IPC (2件)：