検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大西正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-065569
公開番号（公開出願番号）：特開2011-196897
出願日： 2010年03月23日
公開日（公表日）： 2011年10月06日
要約：

【課題】回路パターンからの散乱光の影響を抑えた方向から照明光の照射を行うことで、基板の端部近傍の欠陥検査をより正確に行うことができる検査装置を提供する。【解決手段】表面に回路パターンが形成されたウェハ10の端部近傍に対して、複数の方向から照明光の照射が可能な照明部30と、前記照明光が照射されたウェハ10の端部近傍の前記回路パターンからの散乱光を検出する撮像部40と、撮像部40を用いて検出された前記回路パターンからの散乱光に基づき、ウェハ10の端部近傍の検査を行う検査部80と、各種制御を行う制御部60とを有し、制御部60は検査時に前記回路パターンに対して照明部30により照射する照明光の照射方向を照射可能な複数の方向から選択する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

表面に回路パターンが形成された基板の前記回路パターンを含む端部近傍に対して、複数の方向から照明光の照射が可能な照明部と、前記照明光が照射された前記基板の端部近傍からの散乱光を検出する検出部と、前記検出部により検出された散乱光に基づき、前記基板の端部近傍の検査を行う検査部と、前記検査時に前記回路パターンに対して前記照明部により照射する前記照明光の照射方向を、照射可能な前記複数の方向から選択する選択部とを有することを特徴とする検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/956 , G01N 21/95 , G01B 11/30 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01N21/956 A , G01N21/95 A , G01B11/30 Z , H01L21/66 J

Fターム (30件)：

2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065BB03 , 2F065CC19 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065GG07 , 2F065GG17 , 2F065HH18 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065MM04 , 2F065NN02 , 2F065PP13 , 2F065QQ31 , 2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB05 , 2G051BA02 , 2G051BB02 , 2G051BB05 , 2G051BC01 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB05 , 2G051DA08 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106CA41 , 4M106DB19

引用特許：

審査官引用 (5件)

端部検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-129894 出願人：株式会社ニコン
欠陥検査装置およびその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-049488 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
照明装置及びこれを適用した欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-234971 出願人：株式会社東芝

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