特許
J-GLOBAL ID:201103059027271292

電界放出型冷陰極及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-089369
公開番号(公開出願番号):特開2000-285799
特許番号:特許第3477104号
出願日: 1999年03月30日
公開日(公表日): 2000年10月13日
請求項(抜粋):
【請求項1】基板表面をバイトによって複数の方向に切削することにより、複数の切削部に囲まれた領域をエミッタとして形成する電界放出型冷陰極の製造方法であって、前記エミッタの形状は、角錐をその底面に平行な平面で切断したときに切断面を上面として得られる第1台状形状体若しくは第1台状形状体を段階的に複数段積み上げた形状体のいずれかの形状体の上面に角錐状形状体を積み上げた形状に対応する凸状形状、又はウエッジ状形状をその底面に平行な平面で切断したときに切断面を上面として得られる第2台状形状体若しくは第2台状形状体を段階的に複数段積み上げた形状体のいずれかの形状体の上面にウエッジ状形状体を積み上げた形状に対応する凸状形状であることを特徴とする電界放出型冷陰極の製造方法。
IPC (2件):
H01J 9/02 ,  H01L 29/66
FI (2件):
H01J 9/02 B ,  H01L 29/66
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (8件)
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